化学激光先进精密光学技术研究组.doc

中科院大连化物所（2019）年度冠名奖推荐表（集体） 被推荐集体名称 化学激光先进精密光学 技术团队 申报冠名奖奖项名称 被推荐集体人员情况 负责人姓名 李刚 科技创新奖 职工：25 名；研究生：4 名；返聘职工：3 名 （800 字小四宋体，单倍行距。主要获奖、专利、专著、论文等列目录且仅复印含申报人名字页附后） 主要事迹： （1）2019 年度，化学激光先进精密光学技术团队针对高能氧碘化学激光强光光学元件的应 力形变、激光损伤和热致形变等技术难题；创新性的突破了系列核心技术，主要包括：a.光学 基片的表面粗糙度直接决定了元件的散射损耗和激光损伤阈值，通过优化化学机械抛光工艺， 成功将单晶硅表面粗糙度由 0.5nm 降低到 0.2nm；将石英表面粗糙度由 0.8nm 降低到 0.5nm；b. 将应力的设计融入薄膜结构设计，对高能量沉积薄膜的应力实现了精确的设计和调控, 实现了 激光反射镜面形精确控制（PV 值优于 0.1λ@λ=632.8nm） ，有效解决了 COIL 激光反射镜镀膜后 应力形变难题；c.提出了使用薄膜应力精确调控球面元件的曲率半径，实现 COIL 大曲率半径球 面反射镜曲率半径调节精度优于 0.5mm，且长期保持稳定，有效解决了大曲率半径激光反射镜曲 率难于加工技术难题；d.使用 IAE 技术，将反应蒸发铪制备高阈值二氧化铪薄膜的工艺引入超 高反射率激光腔镜制造，克服了该工艺膜层疏松对反射率的影响，制造的高反射镜反射率达到 99.98%以上，吸收率小于 10ppm，在 30KW/cm^2 的强光辐照下，温升小于 5 ºC，有效解决了大口 径激光反射镜的损伤难题。在以上技术基础上，所研制的强光光学元件作为 COIL 大修项目中的 唯一重要件，于 11 月份顺利通过了总体单位组织的评审和出场验收，并交付使用。 （2）2019 年度团队针对化学激光研究中心承担的 JWKJW 重大任务《A 波段中红外化学激光 器研制》中强光薄膜元件吸收难题，系统研究了 A 波段薄膜元件的光热吸收机理，并以此为依 据，建立了该波段用低吸收薄膜元件的设计与制备方法，成功镀制了 A 波段高透过率、低吸收 激光窗口，在 3kw/cm2 激光辐照下，镜面温升仅为 3ºC,在与兄弟单位的比较测试中，温升低了 一个数量级；突破了单晶硅柱面镜加工工艺、单晶硅异形孔加工工艺等多项技术难题；此基础 上，研制了多套高质中红外强光光学元件，保障了 A 波段中红外激光高功率、高光束质量长时 间稳定运行；为项目的顺利完成做出了重要贡献。 1、 （3）2019 年度为高能激光、北斗导航、国家重大专项极紫外光刻等多项重大任务提供了高 质光学元件的研制服务，实现技术转移转化合同额 1155 万元。 2、 （4）2019 年度牵头制定国家标准 3 项，参与制定国家标准 1 项；我所作为秘书处单位，牵 头成立了国内光学元件团体标准化技术委员会；授权专利 2 项，申请专利 7 项；发表文章 2 篇， 录用 2 篇。 5.1 专利情况 序号 发明人 专利名称 类型 专利号/申请号 状态 1 李刚、刘锐、 王晓丹、公 一种活塞式可调碟片激 发全、吕起 光器晶体冷却指 鹏、金玉奇 发明 ZL201510670755.7 授权 2 贾勇、李刚、 一种铣磨用真空吸附调 孙龙、金玉 节台 奇 发明 ZL201610379395.X 授权 3 李刚、滕飞 一种基于化学活化的石 英玻璃低温直接键合方 法 发明 2019111922890 申请 4 邓淞文、公 发全、李刚 一种 SiC 基底表面改性 层的制备方法 发明 2019112250689 申请 5 李想、李刚、 一种新型射流式碟片激 公发全、刘 光器晶体冷却装置 锐、金玉奇 发明 2019112330645 申请 6 贾勇，李刚， 一种用于工业机器人末 金玉奇 端的轴向浮动抛光装置 发明 2019112500294 申请 7 李刚，吕起 鹏，邓淞文， 一种薄膜应力的消除方 吕少波，金 法 玉奇 发明 2019112847990 申请 8 李刚，吕起 鹏，邓淞文， 一种大曲率光学元件曲 吕少波，金 率半径控制方法 玉奇 发明 2019112848175 申请 9 孙天祥、宫 贺、王锋、 李刚、金玉 奇 GF 发明 201918011543.7 申请 一种...加工方法 5.2论文发表情况 1、 Y. Wang, S. Zhang, Y. Li, Q. Lv, S. Deng, G. Li and Y. Jin, Effect of oxygen vacancy on structural, optical, and photocatalytic properties of ceria films grown by magnetron sputtering deposition, Surf. Coat. Technol. 358, 36, 2019. 2、Y. Wang, C. Cong, J. Shang, M. Eginligil, Y. Jin, G. Li, Y. Chen, N. Peimyoo and Ting Yu, Unveiling exceptionally robust valley contrast in AA- and AB-stacked bilayer WS2, Nanoscale Horiz. 4, 396, 2019 3、刘锐、谭勇、李想、公发全、戴隆辉、李刚，碟片激光器的多孔泡沫热沉的传热特性研 究[J]，2019，光子学报，已接收. 4、Rui L, Yong T，Faquan G，Xiang L, Longhui D, Junyan Y, Song X, Gang L.The application of porous foam structure cooling arrangement system for a thin disk laser[J]. Optik, 2020. 已接收 5.3 标准制定 序号 1 类别 标准名称 标准号或 制定计划号 阶段 国标 光学和光学仪器-激光器和 激光相关设备-激光光学元件 吸收率测试方法 GB/T 38245-2019 已发布 GB/T 37396.1-2019 已发布 GB/T 37396.2-2019 已发布 2 国标 3 国标 4 国标 激光器和激光相关设备-标准光学 元件-第 1 部分：紫外、可见和 近红外光谱范围的元件 激光器和激光相关设备-标准光学 元件-第 2 部分： 红外光谱范围内的元件 激光器和激光相关设备-光腔衰荡 高反射率测量方法 GB/T 37412-2019 已发布（参与）