涂胶机操作规程.doc

涂胶机操作规程 1 开机程序 A 开启总电源； B 开启真空泵； C 登录“PE”账户； 2、使用步骤 A 选择“自动运行”，并进行设备复位； B 复位完成后点击“退出”，选择“配方编辑”; C 设置配方步数，并设置每一步时间、速度、加速度； D 保存配方，并下载，并点击 “退出”； E 选择“自动运行”，并放置基片； F 基片表面覆盖光刻胶，并点击“启动”； G 取下基片，完成基片涂胶； 3 关机程序 A 退出程序； B 关闭总电源； C 关闭真空泵； 4 注意事项 A 涂胶前确保真空泵处于开启状态； B 基片需大于涂胶夹具外边缘； C 定期清洗涂胶机腔体；