X射线能谱仪（EDAX Genesis）操作规程.docx

X 射线能谱仪（EDAX Genesis）操作规程 开机 1. 检查真空、循环水状态，启动电镜设备。 2. 启动能谱设备。 样品放置、撤出、交换 1. 严格按照高度规定高样品台，制样，固定。 2. 按交换舱上“Air”键放气，蜂鸣器响后将样品台放入，旋转样品 杆至“Lock”位，合上交换舱，按“Evac”键抽气，蜂鸣器响后按 “Open”键打开样品舱门，推入样品台，旋转样品杆至“Unlock”位 后抽出，按“Close”键。 观察与测试分析 1. 根据样品特性与测试要求，在电镜操作面板上选择合适的加速电 压与束流，按“On”键加高压。 2. 用滚轮将样品台定位至观察点，拧 Z 轴旋钮（3 轴马达台）。 3. 选择合适的放大倍数，点击“Align”键，调节旋钮盘，逐步调整 电子束位置、物镜光阑对中、消像散基准。 4. 在“TV”或“Fast”扫描模式下定位观察区域，在“Red”扫描模 式下聚焦、消像散，在“Slow”或“Fast”扫描模式下拍照。 5. 选择合适的区域，在能谱分析程序 EDAX Genesis 中，设置电压参 数，选择 Collect 采集谱图，按“Peak ID”识别元素。按“HPD”查 看拟合。按“Bkg”背底识别。按“Ｑuant”进行定性，半定量分析。 按“Save”存储数据和谱图。 6. 通过光盘导出能谱数据。 关机 1. 退出能谱程序，关闭能谱计算机。 2. 将样品台高度调回 80mm。 3. 按“Home”键使样品台回到初始状态。 4. “Home”指示灯停止闪烁后，撤出样品台，合上样品舱。 5. 退出电镜程序，关闭“Display”电源。 注意 1. 每天第一次加高压后，做一次 Flashing。 2. 铁磁性块体及粉末样品禁止直接进行能谱测试分析，会导致仪器 严重损坏。 3. 每半个月旋开空压机底阀放水一次。 4．要检查开机时，能谱探头制冷杜瓦瓶内都要有足够液氮存留。每 周需补充液氮。 5．实验室温度限定在 25±5℃，相对湿度小于 70% 。