3、新型钝化接触晶硅太阳电池技术和核心量产装备的开发及应用.docx

宁波市科学技术奖公示信息表（单位提名）提名奖项：技术发明类成果名称提名等级提名书相关内容新型钝化接触晶硅太阳电池技术和核心量产装备的开发及应用一等奖见附录叶继春，正高级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所曾俞衡，正高级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所闫宝杰，正高级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所王玉明，中级，营口金辰机械股份有限公司主要完成人杨宝海，中级，营口金辰机械股份有限公司廖明墩，副高级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所刘伟，副高级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所杨阵海，中级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所杨熹，副高级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所盛江，副高级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所应智琴，中级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所刘尊珂，初级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所郑晶茗，初级，中国科学院宁波材料技术与工程研究所主要完成单位提名单位 1. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 2. 营口金辰机械股份有限公司中国科学院宁波材料技术与工程研究所该项目致力于高效晶硅太阳电池的关键基础技术研究和产业化应用推进，是实现国家“双碳”战略目标的重要途经。在关键基础技术研究方面，该项目选择具有最佳拓展性的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）作为技术路线，围绕器件物理分析、核提名意见心材料制备、关键技术开发、高效器件集成等开展基础科学研究，取得一系列重大成果；其相关技术指标和电池效率（25.53%）均位于国内领先，国际前列水平，具备量产应用的可行性。在产业化推进方面，该项目开发出管式 PECVE 装备及技术，解决了常规 PECVD 非晶硅易脱膜、工艺粉尘大、大面积镀膜难均匀、特气消耗大等问题，实现非晶硅工艺和器件性能超过欧洲同类产品；通过技术与装备创新，在国际上率先报道基于臭氧气或等离子体原位氧化的、可在同一炉管内实现氧化硅与掺杂非晶硅的“二合一” 集成生产的技术，获 24.4%的平均效率，对管式 PECVD 装备的应用推广产生重大促进作用。总而言之，该项目在基础研究方面，揭示了材料-工艺-性能之间的内在科学关系，为产业界的工艺路线选择和工艺开发提供基础支撑；在产业技术研究方面，开发具有独立自主知识产权的、具有重大应用前景的管式 PECVD 装备及配套技术，推动了 TOPCon 产业技术的发展。因此，我单位强烈推荐该项目参加宁波市科技进步奖评选！附录主要知识产权和标准规范目录知识产权（标准规范）类别知识产权（标准规范）具体名称国家授权号（地（标准规范区）编号）授权证书编（标准号（标发布）准规范日期批准发布部门） 2757225 发明专利一种隧穿氧化层钝中国权化接触太阳能电池及其制备方法 CN10576223 2017.12. 4B 29 发明专利一种隧穿硅氧氮层中国权钝化接触太阳能电池及其制备方法 CN10574239 2017.03. 1B. 08 2405371 发明专利一种钝化接触结构中国权及其在硅太阳电池中应用 CN10978647 2021.02. 6B 28 4446954 权利人（标准规范起草单发明人（标准规发明专利（标准范起草人）规范）有效状态位）中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院宁波材料技术与工程研究所叶继春、高平奇、有效曾俞衡、韩灿、廖明墩、王丹、于静叶继春、曾俞衡、有效高平奇、韩灿、廖明墩、王丹、蔡亮曾俞衡、叶继春、有效闫宝杰、杨清、廖明墩、张志、黄玉清、郭雪琪、王志学实用新型电极间隔离结构、气中国专利权相沉积设备和石墨舟 CN21107932 2020.07. 9U 24 1106920 4 苏州拓升智能装备有限公司实用新型电极间隔离结构、气中国专利权相沉积设备和石墨舟 CN21197244 2020.11. 6U 20 1196277 4 苏州拓升智能装备有限公司实用新型基板载具、基板载具中国专利权阵列和气相沉积装置 CN21219941 2020.12. 4U 22 1218178 3 苏州拓升智能装备有限公司实用新型基板载具、基板载具中国专利权阵列和气相沉积装置 CN21224720 2020.12. 3U 29 1224045 3 苏州拓升智能装备有限公司实用新型适用于 PECVD 设备中国专利权的臭氧输送及喷淋双层石英管道 CN21516310 2021.12. 6U 14 1512339 0 发明专利管式 PECVD 制备多中国权晶硅钝化接触结构的方法 CN10980200 2020.11. 7B 17 4095791 苏州拓升智能装备有限公司中国科曾俞衡、闫宝杰、有效学院宁叶继春、廖明墩波材料技术与工程研究所叶继春、闫宝杰、有效曾俞衡、王玉明、程海良、陈晖、廖明墩、谢利华、李旺鹏叶继春、闫宝杰、有效曾俞衡、王玉明、程海良、陈晖、廖明墩、谢利华、李旺鹏王玉明、陈晖、程有效海良、谢利华、李旺鹏、叶继春、曾俞衡、廖明墩、闫宝杰王玉明、陈晖、程有效海良、谢利华、李旺鹏、叶继春、曾俞衡、廖明墩、闫宝杰曾俞衡、周玉龙、有效孙烨、张庶、廖明墩、马典发明专利选择性发射极结构、中国权其制备方法及应用 CN11203364 2022.03. B 08 4986059 中国科学院宁波材料技术与工程研究所曾俞衡、叶继春、有效闫宝杰、刘尊珂、廖明墩、程皓、林毅然、卢琳娜、郑晶茗、冯蒙蒙代表性论文（专著）目录作者论文（专著）名称/刊物年卷发表他引页码时间总次（年、数 Hui Tong, Zhenhai Yang, Xixi Wang, Zhaolang Liu, Zhenxin Chen, Xiaoxing Ke, Manling Sui, Jiang Tang, Tianbao Yu, Ziyi Ge, Yuheng Zeng, Pingqi Gao, and Jichun Ye Dual Functional Electron ‐ Selective Contacts Based on Silicon Oxide/Magnesium: Tailoring Heterointerface Band Structures while Maintaining Surface Passivation/Advanced Energy Material 2018 年 2018.02 8卷月） 1702921 .21 页 Xi Yang, Zhiqin Ying, Zhenhai Yang, Jia-Ru Xu, Wei Wang, Jiajia Wang, Zenggui Wang, Lingze Yao, Baojie Yan, and Jichun Ye Light-Promoted Electrostatic Adsorption of High-Density Lewis Base Monolayers as Passivating Electron-Selective Contacts/Advanced Science 2021 年 2021.01 8卷 2003245 .04 页 Zhenhai Yang, Pingqi Gao, Jiang Sheng, Hui Tong, Cheng Quan, Xi Yang, Kuan W. A. Chee, Baojie Yan, Yuheng Zeng, and Jichun Ye Principles of dopant-free electron-selective contacts based on tunnel oxide/low workfunction metal stacks and their applications in heterojunction solar cells/Nano Energy 2018 年 46 卷 133-140 页 2018.01 .31 Xueqi Guo, Mingdun Liao, Zhe Rui, Qing Yang, Zhixue Wang, Chunhui Shou, Waner Ding, Xijia Luo, Yuhong Cao, Jiaping Xu, Liming Fu, Yuheng Zeng, Baojie Yan, and Jichun Ye Comparison of different types of interfacial oxides on holeselective p+-poly-Si passivated contacts for high-efficiency c-Si solar cells/Solar Energy Materials & Solar Cells 2020 年 210 卷 110487 页 2020.06 .01 Carrier transport through the ultrathin silicon-oxide layer in tunnel oxide passivated contact (TOPCon) c-Si solar cells/Solar Energy Materials & Solar Cells 2018 年 187 卷 113-122 页 2018.12 .01 Ultrathin silicon oxide prepared by in-line plasma-assisted N2O oxidation and the application for n-type polysilicon passivated contact/Solar Energy Materials & Solar Cells 2020 年 208 卷 110389 卷 110389 页 Zhi Zhang, Yuheng Zeng, Chun-Sheng Jiang, Yuqing Huang, Mingdun Liao, Hui Tong, Mowafak Al-Jassim, Pingqi Gao, Chunhui Shou, Xiaoling Zhou, Baojie Yan, and Jichun Ye Yuqing Huang, Mingdun Liao, Zhixue Wang, Xueqi Guo, Chunsheng Jiang, Qing Yang, Dandan Huang, Zhizhong Yuan, Jie Yang, Xinyu Zhang, Qi Wang, Hao Jin, Wei Guo, Jiang Sheng, Mowafak Al-Jassim, Chunhui Shou, Yuheng 2020.05 .01 Tian Gao, Qing Yang, Xueqi Guo, Yuqing Huang, Zhi Zhang, Zhixue Wang, Mingdun Liao, Chunhui Shou, Yuheng Zeng, Baojie Yan, Guofu Hou, Xiaodan Zhang, Ying Zhao, and Jichun Ye Mingdun Liao, Qing Yang, Zhixue Wang, Xueqi Guo, Zhe Rui, Dandan Huang, Jingming Zheng, Wei Guo, Jiang Sheng, Peihong Cheng, Yuheng Zeng, Baojie Yan, and Jichun Ye Zhi Zhang, Mingdun Liao, Yuqing Huang, Xueqi Guo, Qing Yang, Zhixue Wang, Zhizhong Yuan, Yuheng Zeng, Baojie Yan, and Jichun Ye Yuheng Zeng, Hui Tong, Cheng Quan, Liang Cai, Zhenhai Yang, Kangmin Chen, Zhizhong Yuan, Chung-Han Wu, Baojie Yan, Pingqi Gao, and Jichun Ye An industrially viable TOPCon structure with both ultra-thin SiOx and n+-poly-Si processed by PECVD for p-type c-Si solar cells/Solar Energy Materials & Solar Cells 2019 年 200 卷 109926 页 2019.09 .01 2020 年 210 卷 110518 页 2020.06 .01 2019 年 3卷 1900105 页 2019.06 .18 Theoretical exploration towards high-efficiency tunnel oxide 2017 年 passivated carrier-selective 155 卷 contacts (TOPCon) solar 654 页 cells/Solar Energy 2017.07 .03 In-situ phosphorus-doped polysilicon prepared using rapidthermal-process (RTP) annealing and its application for polysilicon passivated-contact solar cells/Solar Energy Materials & Solar Cells Improvement of Surface Passivation of Tunnel Oxide Passivated Contact Structure by Thermal Annealing in Mixture of Water Vapor and Nitrogen Environment/Solar RRL 合（引用次数以最终查引报告为准）计: