附件3 实验室安全规范.docx

扫描电镜操作规程 开机操作： 1. 开变压器电源 2. 开主电源 3. 开真空 （VAC SW I 键点亮） 4. 开水箱电源 5. 开操作系统 （右手 OPE SW I 键点亮） 6. 开电脑 （账户和密码均为 SEMUser） 7. 开软件 （桌面 PC_SEM） Guest 账户，无密码 8. 仪器进行自检，等待 5 分钟后，所有自检变绿通过，初始化样品台，主机上 EXCHPOSN 灯亮起。 9. 推入样品，EXCHPOSN 以及 HLDR 灯亮起 10. 开电子枪 Maintance-Gun-Star up 电源会持续增加 Filament Current 至 2.29 Extract Voltage 至 3.0 11. 半个小时后电子枪稳定，SIP-1<9E-8, SIP-2<2E-6 12. 若真空读数稳定低于至 5.0E-4 后，则可进行实验 关机操作： 1. 关闭主屏上观察 OBSERATION OFF 2. 关电子枪 MAINTANENCE-GUN-SHUT DOWN 等待 Filament Current 慢慢变为 0 3. 打开 Camera，确认所有探头均退出样品舱，将样品取出或退到准备舱 4. 关软件操作系统 File-exit-exit 5. 关闭电脑 6. 关闭电镜操作系统 （控制台右下方 OPE SW 上 O 键点击变亮 其中 I 键为开启） 7. 关闭真空系统 （控制台左下方 VAC SW O 键） 8. 关水箱 （控制台右后方的白色箱子 MAIN 阀门拉下） 9. 5 分钟后，关闭主电源 （控制台左下方 MIAN SW O 键点亮） 10. 确定备用电源处于工作状态 （控制台面上左上方，白色盒子，工作时 绿灯亮起，电流 超过 20uA） 11. 关闭变压器 （机器后，最左侧蓝色箱子，阀门拉下）